公开/公告号US6776873B1
专利类型
公开/公告日2004-08-17
原文格式PDF
申请/专利权人 SUN JENNIFER Y;WU SHUN JACKSON;THACH SENH;KUMAR ANANDA H;WU ROBERT W;WANG HONG;LIN YIXING;STOW CLIFFORD C;
申请/专利号US20020075967
发明设计人 ANANDA H KUMAR;SENH THACH;ROBERT W WU;SHUN JACKSON WU;HONG WANG;YIXING LIN;CLIFFORD C STOW;JENNIFER Y SUN;
申请日2002-02-14
分类号C23F10/00;H01L213/06;C23C160/00;
国家 US
入库时间 2022-08-21 23:20:22