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Method and apparatus for tool and tip design for nanomachining and measurement

机译:用于纳米加工和测量的工具和尖端设计的方法和装置

摘要

A single-body structure is presented for use as a tool tip for making modifications and/or collecting measurements on a target object. The single-body structure comprises a first end portion, a second end portion opposite the first portion, and a mid portion between the first and second end portions, wherein a central axis can be defined extending from the first end portion to the second end portion, and wherein the single-body structure has a maximum linear dimension of approximately 50 microns or less. The single-body structure may be comprised of diamond. One of the first and second end portions may have a larger cross sectional area, in a plane perpendicular to the central axis, than does the other of the first and second end portions. One of the first and second end portions may have a larger cross sectional diameter, in at least one direction perpendicular to the central axis, than does the other of the first and second end portions.
机译:提出了一种整体结构,其用作在目标对象上进行修改和/或收集测量值的工具提示。所述单体结构包括第一端部,与所述第一部相对的第二端部以及在所述第一端部和第二端部之间的中间部,其中可以限定从所述第一端部向所述​​第二端部延伸的中心轴。 ,其中,单体结构的最大线性尺寸约为50微米或更小。单体结构可以由金刚石组成。在垂直于中心轴线的平面中,第一和第二端部中的一个可以具有比第一和第二端部中的另一个更大的横截面积。在与中心轴垂直的至少一个方向上,第一端部和第二端部中的一个可以具有比第一端部和第二端部中的另一个更大的横截面直径。

著录项

  • 公开/公告号US6787768B1

    专利类型

  • 公开/公告日2004-09-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 GENERAL NANOTECHNOLOGY LLC;

    申请/专利号US20020093947

  • 发明设计人 VICTOR B. KLEY;ROBERT T. LOBIANCO;

    申请日2002-03-07

  • 分类号H01L213/06;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 23:17:19

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