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机译:超临界流体(SCF)甲硅烷基化工艺
公开/公告号US6673521B2
专利类型
公开/公告日2004-01-06
原文格式PDF
申请/专利权人 LNTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION;
申请/专利号US20000735404
发明设计人 JOHN P. SIMONS;WAYNE M. MOREAU;KENNETH J. MCCULLOUGH;CHARLES J. TAFT;DAVID R. MEDEIROS;
申请日2000-12-12
分类号G03F72/60;
国家 US
入库时间 2022-08-21 23:12:36
机译: 超临界流体(SCF)甲硅烷基化工艺
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