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APPARATUS FOR INSPECTING OPTICAL ELEMENTS IN WHICH LIGHT RADIATED FROM AN OPTICAL MODULE IS TRANSFERRED TO A BEAM SPLITTER THROUGH A FIRST OPTICAL PATH CONVERTER

机译:通过第一光学路径转换器将从光学模块发出的光线透射到光束分离器中的光学元件检查装置

摘要

PURPOSE: An optical element inspection apparatus is provided to precisely inspect optical characteristics of optical elements by using an interferometer employing various wavelengths. CONSTITUTION: An optical element inspection apparatus includes a plurality of light sources, a beam splitter(15) for splitting light radiated from the light sources, and first and second reflection mirrors(25,30). The light sources include first light source(3) for radiating a first color light having a first wavelength, a second light source(5) for radiating a second color light having a second wavelength, and a third light source(10) for radiating a third color light having a third wavelength. The first and second light sources(3,5) are provided as an optical module(8). The light radiated from the optical module(8) is transferred to the beam splitter(15) through a first optical path converter(12).
机译:目的:提供一种光学元件检查装置,以通过使用采用各种波长的干涉仪来精确地检查光学元件的光学特性。组成:一种光学元件检查设备,包括多个光源,用于分离从光源发出的光的分束器(15)以及第一和第二反射镜(25,30)。所述光源包括:第一光源(3),其用于辐射具有第一波长的第一颜色的光;第二光源(5),其用于辐射具有第二波长的第二颜色的光;以及第三光源(10),其用于辐射具有第二波长的第二颜色的光。具有第三波长的第三色光。第一和第二光源(3,5)被设置为光学模块(8)。从光学模块(8)发出的光通过第一光路转换器(12)传递到分束器(15)。

著录项

  • 公开/公告号KR20040079304A

    专利类型

  • 公开/公告日2004-09-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 PARK SEUNG HAN;YOO JANG HOON;

    申请/专利号KR20030014470

  • 发明设计人 PARK SEUNG HAN;YOO JANG HOON;

    申请日2003-03-07

  • 分类号G01B11/25;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 22:48:02

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