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PATTERN FORMING METHOD, PATTERN FORMING APPARATUS, DEVICE FABRICATING METHOD, INTERCONNECTION OF CONDUCTIVE LAYER, ELECTRICAL OPTICAL DEVICE AND ELECTRONIC INSTRUMENT TO EFFICIENTLY FORM LAYER PATTERN EVEN IF DESIGN VALUE OF PATTERN PITCH VARIES

机译:图案形成方法,图案形成装置,设备制造方法,导电层,电气光学设备和电子仪器的相互连接,以有效地形成层图案,即使图案间距的设计值为

摘要

PURPOSE: A method for forming a pattern is provided to efficiently form a layer pattern even if a design value of a pattern pitch varies when a liquid drop is discharged from each drop discharge head with a plurality of discharge nozzles to form the layer pattern. CONSTITUTION: A plurality of pattern regions(R1,R2) for forming a layer pattern(W1,W2) are formed in parallel with each other on a substrate(11). The first pattern region starts from the side part of the layer pattern. The second pattern formation region starts from the center part of the layer pattern. A liquid drop of a liquid material is disposed in each of the first and second pattern regions to form the layer pattern.
机译:目的:提供一种用于形成图案的方法,即使当利用多个排出喷嘴从每个液滴排出头排出液滴以形成层图案时,即使图案间距的设计值变化,也可以有效地形成层图案。构成:在基板(11)上彼此平行地形成用于形成层图案(W1,W2)的多个图案区域(R1,R2)。第一图案区域从层图案的侧部开始。第二图案形成区域从层图案的中央部分开始。液体材料的液滴布置在第一图案区域和第二图案区域中的每一个中以形成层图案。

著录项

  • 公开/公告号KR20040080987A

    专利类型

  • 公开/公告日2004-09-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SEIKO EPSON CORPORATION;

    申请/专利号KR20040014205

  • 发明设计人 HIRAI TOSHIMITSU;HASEI HIRONORI;

    申请日2004-03-03

  • 分类号H01L21/027;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 22:48:03

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