要解决的问题:提供一种化学膜的膜评估方法和质量评估/过程监控系统,以客观,定量和廉价地通过使用实际方法评估磷酸锌膜等结晶化学膜的质量产品而不使用经过处理的样品。
解决方案:化学膜的质量评估/过程监视方法从化学膜的晶体外观评估膜的质量,并监视处理阶段。化学膜的质量评价/处理监视系统具备:用于提取图像数据中所包含的晶粒的晶粒提取单元;以及用于获取评价特性信息作为质量评价和处理过程的基准的评价特性信息获取单元。由晶粒提取装置提取的晶粒的化学膜。
版权:(C)2005,JPO&NCIPI
公开/公告号JP2005140599A
专利类型
公开/公告日2005-06-02
原文格式PDF
申请/专利号JP20030376224
发明设计人 YAMAGUCHI TADAYOSHI;
申请日2003-11-05
分类号G01N33/20;C23C22/07;G01N15/00;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 22:33:48