要解决的问题:提供一种用于产生近场光的方法,该方法可以高效地产生近场光以及具有更高强度的近场光,并且还提供用于该近场的掩模曝光,近场曝光方法和装置,近场光头,扫描近场光学显微镜和记录/重放装置。解决方案:一种用于产生近场光的方法包括以下步骤:将光入射到尺寸不大于光的波长的微观开口中;以及将光入射到具有小于或等于光的波长的微小开口中。在所述微孔的出光侧的所述孔附近形成微光斑。在形成光斑时,将微观开口形成为垂直和水平尺寸彼此不同的矩形形状,以形成与该矩形开口具有大致相同的垂直和水平尺寸的光斑。
版权:(C)2005,JPO&NCIPI
公开/公告号JP2005101394A
专利类型
公开/公告日2005-04-14
原文格式PDF
申请/专利权人 CANON INC;
申请/专利号JP20030334610
申请日2003-09-26
分类号H01L21/027;G01N13/10;G01N13/14;G03F7/20;G11B7/135;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 22:32:43