要解决的问题:提供一种评估铁电材料特性的新方法,该方法能够容易地评估铁电材料的微区特性,例如使用铁电材料作为高存储介质的LSI存储器。高分辨率。
解决方案:与铁电材料的软模相对应的铁电材料的拉曼光谱中的拉曼光谱的拉曼位移频率与铁电材料的自发极化的绝对值成正比。对应于软模式的拉曼光谱的强度与有效域的数量成正比。在拉曼位移频率上评估自发极化的大小,并在拉曼强度上评估有效取向的畴占据因子。
版权:(C)2004,日本特许厅
公开/公告号JP3646189B2
专利类型
公开/公告日2005-05-11
原文格式PDF
申请/专利权人 独立行政法人科学技術振興機構;
申请/专利号JP20020090042
发明设计人 長田 実;
申请日2002-03-27
分类号H01L21/66;G01N21/65;H01L27/105;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 22:29:06