公开/公告号US2005223985A1
专利类型
公开/公告日2005-10-13
原文格式PDF
申请/专利权人 ERIC R. BLOMILEY;NIRMAL RAMASWAMY;ROSS S. DANDO;JOEL A. DREWES;ALAN B. COLWELL;EDUARDO A. TOVAR;
申请/专利号US20040822208
发明设计人 ALAN B. COLWELL;NIRMAL RAMASWAMY;JOEL A. DREWES;ERIC R. BLOMILEY;EDUARDO A. TOVAR;ROSS S. DANDO;
申请日2004-04-08
分类号C23C16/00;H01L21/66;
国家 US
入库时间 2022-08-21 22:25:59