公开/公告号SG107746A1
专利类型
公开/公告日2005-02-28
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申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号SG2004054490
发明设计人 KISTLER RODNEY;MOREL BRUNO;GOTKIS YEHIEL;OWCZARZ ALEKSANDER;HEMKER DAVID J.;WILLIAMS DAMON V.;
申请日2003-03-26
分类号B24B49/10;G06F19/00;
国家 SG
入库时间 2022-08-21 22:16:01