公开/公告号WO03082522A8
专利类型
公开/公告日2004-12-09
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号WO2003US09421
发明设计人 KISTLER RODNEY;MOREL BRUNO;GOTKIS YEHIEL;OWCZARZ ALEKSANDER;HEMKER DAVID J.;WILLIAMS DAMON V.;
申请日2003-03-26
分类号B24B49/10;B24B49/12;B24B49/14;H01L21/66;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 22:12:51