首页> 外国专利> Interferometer using an integrated imaging array, a high-density polarizer and a phase-shifting array

Interferometer using an integrated imaging array, a high-density polarizer and a phase-shifting array

机译:使用集成成像阵列,高密度偏振器和相移阵列的干涉仪

摘要

An integrated imaging element for an interferometer generates at least one interference image that includes multiple interference portions with different relative phase shifts interleaved in a pattern having a high spatial frequency in the image. The interleaved pattern is at least partially determined by the pattern of a high density relative retarder array used in the integrated imaging element. In various embodiments, the multiple interference portions are interleaved in a checkerboard-like pattern across the entire surface of a detector device. As a result, various non-common mode errors present in various interferometers that generate separate non-interleaved images for each relative phase are reduced or eliminated.
机译:用于干涉仪的集成成像元件产生至少一个干涉图像,该干涉图像包括具有不同相对相移的多个干涉部分,这些干涉部分以图像中具有高空间频率的图案交错。交错的图案至少部分地由集成成像元件中使用的高密度相对延迟器阵列的图案确定。在各种实施例中,多个干涉部分在检测器装置的整个表面上以棋盘状图案交错。结果,减少或消除了在针对每个相对相位产生单独的非交错图像的各种干涉仪中存在的各种非共模误差。

著录项

  • 公开/公告号EP1411321A3

    专利类型

  • 公开/公告日2005-07-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MITUTOYO CORPORATION;

    申请/专利号EP20030256223

  • 发明设计人 TOBIASON JOSEPH D.;ATHERTON KIM D.;

    申请日2003-10-02

  • 分类号G01B9/02;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-21 22:09:09

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号