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STEPPER HAVING MULTI SHUTTER UNIT FOR REDUCING TOTAL PROCESS TIME AND INCREASING PRODUCTIVITY BY REDUCING PERIOD FOR TRANSFERRING SAME ENERGY TO WAFER

机译：步进器具有多快门单元，可通过减少用于转移相同能量的时间来减少总处理时间并提高生产率

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公开/公告号KR20050004382A

专利类型
公开/公告日2005-01-12

原文格式PDF
申请/专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD.;
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申请/专利号KR20030044545
发明设计人 NA YOUNG HO;
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申请日2003-07-02
分类号H01L21/027;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 22:06:02

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