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SEMICONDUCTOR FABRICATING APPARATUS HAVING ROTARY ELEVATOR TYPE CARRIER STOCKER TO REDUCE TEACHING TIME

机译:具有旋转升降式载运器的半导体制造设备,减少了教学时间

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号KR20050015499A

    专利类型

  • 公开/公告日2005-02-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD.;

    申请/专利号KR20030054347

  • 发明设计人 SONG YOUN SEOK;

    申请日2003-08-06

  • 分类号H01L21/68;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 22:05:49

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