机译:薄型薄膜制造设备,其包括一种在设备内部通气时能够在没有气流停止的情况下在不停止气体的情况下执行下气孔的系统以及使用该设备制造薄型薄膜的方法
公开/公告号KR20050016156A
专利类型
公开/公告日2005-02-21
原文格式PDF
申请/专利权人 ULVAC INC.;
申请/专利号KR20040061574
申请日2004-08-05
分类号C23C16/455;H01L21/28;C23C16/40;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 22:05:52