要解决的问题:提供单晶硅薄膜晶体管的有机发光显示器,并提供其制造方法。
解决方案:提供有机发光显示器,其中在塑料基板上形成2T-1C结构的半导体电路单元,该半导体电路单元包括由单晶硅形成的开关晶体管和驱动晶体管。制造单晶硅的方法包括:在晶体生长板上形成单晶硅层和缓冲层;然后,通过从单晶硅层中注入氢离子,在单晶硅层中以预定深度形成分隔层。绝缘层的上部。单晶硅层粘附到基板上。分隔层被施加到外部的热能分开。因此,可以在基板上将单晶硅膜形成为指定的厚度。
版权:(C)2007,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP2006301629A
专利类型
公开/公告日2006-11-02
原文格式PDF
申请/专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD;
申请/专利号JP20060111209
申请日2006-04-13
分类号G09F9/30;H01L21/336;H01L29/786;H01L27/32;H05B33/02;H05B33/10;H01L51/50;H01L27/12;H01L21/02;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 21:55:44