要解决的问题:提供一种激光干涉仪的测量值的校正方法,该激光干涉仪的测量值不需要激光干涉仪来校正测量值,而激光干涉仪的测量值经过校正,并且结构不同从常规结构。
解决方案:激光干涉仪的测量值校正方法包括以下步骤:(a)通过仅移动移动台第一距离来确定移动距离,并由此测量移动的开始位置和结束位置移动台,以及(b)基于由激光干涉仪确定的移动距离和第一距离,获得用于校正激光干涉仪的校正信息。
版权:(C)2007,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP2006267053A
专利类型
公开/公告日2006-10-05
原文格式PDF
申请/专利权人 SUMITOMO HEAVY IND LTD;
申请/专利号JP20050089466
发明设计人 SAKAMOTO MASAKI;
申请日2005-03-25
分类号G01B11;B23K26;B23K26/08;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 21:53:46