公开/公告号US2006075967A1
专利类型
公开/公告日2006-04-13
原文格式PDF
申请/专利权人 SIQING LU;CANFENG LAI;QIWEI LIANG;MAOLIN LONG;IRENE CHOU;JASON BLOKING;STEVEN H. KIM;ELLIE Y. YIEH;
申请/专利号US20040963030
发明设计人 CANFENG LAI;QIWEI LIANG;JASON BLOKING;STEVEN H. KIM;MAOLIN LONG;IRENE CHOU;SIQING LU;ELLIE Y. YIEH;
申请日2004-10-12
分类号H01L21/20;C23C16/00;
国家 US
入库时间 2022-08-21 21:48:14