公开/公告号WO2006044419A2
专利类型
公开/公告日2006-04-27
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;LU SIQING;LAI CANFENG;LIANG QIWEI;LONG MAOLIN;CHOU IRENE;BLOKING JASON;KIM STEVEN H;YIEH ELLIE Y;
申请/专利号WO2005US36579
发明设计人 LAI CANFENG;LONG MAOLIN;KIM STEVEN H;BLOKING JASON;CHOU IRENE;LU SIQING;YIEH ELLIE Y;LIANG QIWEI;
申请日2005-10-12
分类号C23C16/507;H01J37/32;C23C16/50;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 21:31:24