机译:掠入射镜,包括掠入射镜的光刻设备,提供掠入射镜的方法,增强掠入射镜的EUV反射的方法,器件制造方法和由此制造的器件
公开/公告号US2005279951A1
专利类型
公开/公告日2005-12-22
原文格式PDF
申请/专利权人 LEVINUS PIETER BAKKER;
申请/专利号US20040860656
发明设计人 LEVINUS PIETER BAKKER;
申请日2004-06-04
分类号G21K1/06;A61N5/00;G21G5/00;
国家 US
入库时间 2022-08-21 21:44:31