首页> 外国专利> A system for manufacturing substrates woth depostition of a layer with a quasi-continuous variation of density of molecules in the deposited layer

A system for manufacturing substrates woth depostition of a layer with a quasi-continuous variation of density of molecules in the deposited layer

机译:一种用于制造具有沉积层的系统的系统,该层具有沉积层中分子密度的准连续变化

摘要

yes
机译:

著录项

  • 公开/公告号IN2000MU00289A

    专利类型

  • 公开/公告日2006-02-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号IN289/MUM/2000

  • 申请日2000-03-30

  • 分类号H01L21/208;

  • 国家 IN

  • 入库时间 2022-08-21 21:38:56

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