公开/公告号WO2006023326A1
专利类型
公开/公告日2006-03-02
原文格式PDF
申请/专利权人 MATTSON TECHNOLOGY INC.;NIEWMIERZYCKI LESZEK;BARKER DAVID;KUHLMAN MICHAEL;PAKULSKI RYAN;SHAN HONGQING;ZUCKER MARTIN;DEVINE DANIEL J.;
申请/专利号WO2005US28260
发明设计人 PAKULSKI RYAN;DEVINE DANIEL J.;NIEWMIERZYCKI LESZEK;SHAN HONGQING;ZUCKER MARTIN;KUHLMAN MICHAEL;BARKER DAVID;
申请日2005-08-08
分类号H01L21/677;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 21:32:12