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METHOD FOR CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION (CVD) OF ZRB SB X /SB C SB Y /SB N SB Z /SB (OR X+Y+Z=1) LAYERS AND A CUTTING TOOL COATED WITH SAID LAYER

机译:ZRB SB X / SB C SB Y / SB N SB Z / SB(或X + Y + Z = 1)层的化学气相沉积(CVD)方法和涂有上述涂层的切削刀具

摘要

According to the invention, in order to form a ZRBXCYNZ (OR X+Y+Z=1) layer, wherein x+y+z=1 and x=0.001 to 0.05, y= 0 to 0.95 and z=0 to 0.95, by chemical vapour deposition a processing gas is used in which a Zr halide content is higher than 5 % volume and a boron halide content is less than 5 % volume. The thus produced layers can be used as anti-wearing protection and as decorative layers.
机译:根据本发明,为了形成ZRBXCYNZ(OR X + Y + Z = 1)层,其中x + y + z = 1并且x = 0.001至0.05,y = 0至0.95并且z = 0至0.95,通过化学气相沉积,使用其中卤化锆含量高于5%体积且卤化硼含量低于5%体积的处理气体。由此产生的层可以用作抗磨保护和装饰层。

著录项

  • 公开/公告号EP1570105B1

    专利类型

  • 公开/公告日2006-06-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 WALTER AG;

    申请/专利号EP20030775393

  • 发明设计人 HOLZSCHUH HELGA;

    申请日2003-11-26

  • 分类号C23C16/38;C23C16/36;C23C16/34;C23C16/30;B23B27/14;C23C30/00;C23C28/04;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-21 21:29:40

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