要解决的问题:提供一种钴掺杂的二氧化钛膜,该膜具有原子级的平坦表面并具有优异的结晶度,并且其铁磁性能可以自由控制。
解决方案:在基板11上形成二氧化钛膜12。接着,在二氧化钛膜12上形成掺杂有钴的二氧化钛膜13。
版权:(C)2005,JPO&NCIPI
公开/公告号KR20060069808A
专利类型
公开/公告日2006-06-22
原文格式PDF
申请/专利号KR20060046212
发明设计人 KAWASAKI MASASI;FUKUMURA TOMOTERU;OHTOMO AKIRA;TOYOSAKI HIDEMI;YAMADA YASUHIRO;OHNO HIDEO;MATSUMURA FUMIHIRO;
申请日2006-05-23
分类号C01G51;C01G23;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 21:25:26