公开/公告号DE102005005591B3
专利类型
公开/公告日2006-07-20
原文格式PDF
申请/专利权人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;
申请/专利号DE20051005591
发明设计人 THIELE JOERG;MEYER DIRK;KOEHLE RODERICK;HEISMEIER MICHAEL;NOELSCHER CHRISTOPH;LUDWIG BURKHARD;SEMMLER ARMIN;
申请日2005-02-07
分类号G03F1/00;G03F7/20;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 21:20:24