公开/公告号DE102005020527A1
专利类型
公开/公告日2006-11-09
原文格式PDF
申请/专利权人 FESTO AG & CO.;ARGILLON GMBH;
申请/专利号DE20051020527
发明设计人 RUETTEL MARTIN;GUENTER JUERGEN;MAICHL MARTIN;SCHLEICHER JUERGEN;WIRTL HANNES;KREMER HUBERT;KLUMP STEFAN;
申请日2005-05-03
分类号H01L41/08;H01L41/09;H01L41/047;H01L41/053;H01L41/16;H02N2/04;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 21:20:17