公开/公告号DE50012908D1
专利类型
公开/公告日2006-07-20
原文格式PDF
申请/专利号DE20005012908T
申请日2000-12-12
分类号G01T1;G01T1/20;C09K11;C09K11/06;C09K11/56;C09K11/58;C09K11/61;C09K11/62;C09K11/64;C09K11/77;C09K11/80;C09K11/84;G01T1/202;G01T1/29;H01L27/146;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 21:19:34