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机译:通过离子束研磨将古兰经亚微米压印在晶体基板上,并使用旋涂玻璃进行平面化
公开/公告号GB0615335D0
专利类型
公开/公告日2006-09-13
原文格式PDF
申请/专利权人 MOKHTARI EMAD M;
申请/专利号GB20060015335
发明设计人
申请日2006-08-02
分类号
国家 GB
入库时间 2022-08-21 21:16:48
机译: 用于玻璃基板的压印,形成抗蚀剂图案的方法,用于压印的玻璃基板的检查方法和检查装置
机译: 用于浸入的玻璃基质,形成抗蚀剂图案的方法,用于浸入的玻璃基质的检查方法和检查装置
机译: 用于印刷的玻璃基质,抗蚀剂图案形成方法,以及用于检查的玻璃基质的检查方法和装置