公开/公告号JP2007078671A
专利类型
公开/公告日2007-03-29
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI LTD;ACRORAD CO LTD;
申请/专利号JP20060060328
发明设计人 AMAMIYA KENSUKE;JINNAI RYUJI;KITAGUCHI HIROSHI;UENO YUICHIRO;YANAGIDA NORIFUMI;TSUCHIYA KAZUTOSHI;YOKOI KAZUMA;
申请日2006-03-06
分类号G01T1/161;G01T1/24;G01T7/00;H01L31/09;H04N5/32;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 21:12:06