解决方案:用于键合线的金合金线总共包含一种或两种Pt和Pd低于500-1,000 ppm,Ir为1-100 ppm,Ca大于30-100 ppm和Eu大于30-100ppm,必要时含有0.1-20ppm的Be,必要时总共含有选自30、100ppm的La,Ba,Sr和Bi中的一种或多种,含有1-10ppm的Ag。成分是必需的,并且具有包含金和不可避免的杂质的成分组成的平衡。
版权:(C)2007,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP2006351701A
专利类型
公开/公告日2006-12-28
原文格式PDF
申请/专利权人 MITSUBISHI MATERIALS CORP;
申请/专利号JP20050173726
申请日2005-06-14
分类号H01L21/60;C22C5/02;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 21:08:59