公开/公告号US7205237B2
专利类型
公开/公告日2007-04-17
原文格式PDF
申请/专利权人 ANDREW DEERING;TERENCE L. KANE;PHILIP V. KASZUBA;LEON MOSZKOWICZ;CARMELO F. SCRUDATO;MICHAEL TENNEY;
申请/专利号US20050160667
发明设计人 CARMELO F. SCRUDATO;ANDREW DEERING;TERENCE L. KANE;LEON MOSZKOWICZ;MICHAEL TENNEY;PHILIP V. KASZUBA;
申请日2005-07-05
分类号H01L21/461;C23F1/00;
国家 US
入库时间 2022-08-21 21:02:20