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METHOD AND APPARATUS FOR FABRICATING MERCURIC IODIDE POLYCRYSTALLINE FILMS FOR DIGITAL RADIOGRAPHY

机译:制造用于放射线照相的碘化汞多晶膜的方法和装置

摘要

A method is provided for fabricating in a thermal evaporation system (100) a polycrystalline film capable of directly detecting radiation. Source material (112) is placed in a container, and the container is evacuated to create vacuum within the container. The source material (112) is heated to evaporate the source material for depositing on a substrate (114). The polycrystalline film is used in as deposited form to detect the radiation.
机译:提供了一种在热蒸发系统(100)中制造能够直接检测辐射的多晶膜的方法。将原料(112)放置在容器中,并将容器抽成真空以在容器内产生真空。加热源材料(112)以蒸发该源材料,以沉积在基板(114)上。多晶膜以沉积形式用于检测辐射。

著录项

  • 公开/公告号EP1421613A4

    专利类型

  • 公开/公告日2007-10-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 DXRAY INC.;

    申请/专利号EP20020752622

  • 发明设计人 PATT BRADLEY E.;IWANCZYK JAN S.;

    申请日2002-07-30

  • 分类号G01T1/00;H01L21/477;C23C14/06;C23C14/14;C23C14/24;C23C14/56;G01T1/20;G01T1/24;H01L27/146;H01L31/115;H04N5/32;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-21 20:49:19

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