公开/公告号EP1421613A4
专利类型
公开/公告日2007-10-24
原文格式PDF
申请/专利权人 DXRAY INC.;
申请/专利号EP20020752622
申请日2002-07-30
分类号G01T1/00;H01L21/477;C23C14/06;C23C14/14;C23C14/24;C23C14/56;G01T1/20;G01T1/24;H01L27/146;H01L31/115;H04N5/32;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 20:49:19