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Carbon nanotubes fabricating method using focused ion beam

机译:使用聚焦离子束的碳纳米管制造方法

摘要

Provided is a method of fabricating carbon nanotubes using a focused ion beam (FIB). The method includes: preparing a substrate; scanning the substrate with the FIB; and growing the carbon nanotubes on the scanned substrate.
机译:提供一种使用聚焦离子束(FIB)制造碳纳米管的方法。该方法包括:准备基板;以及用FIB扫描基板;在被扫描的基板上生长碳纳米管。

著录项

  • 公开/公告号KR100682922B1

    专利类型

  • 公开/公告日2007-02-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号KR20050005813

  • 发明设计人 송인용;배은주;고주혜;박완준;

    申请日2005-01-21

  • 分类号B82B3;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 20:32:55

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