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Continuous wet chemical processing, e.g. cleaning, etching, stripping, coating or drying of flat, thin, fragile substrates comprises transporting and processing substrates using absorbent rollers

机译:连续湿法化学处理,例如清洁,蚀刻,剥离,涂覆或干燥平坦,薄而易碎的基材,包括使用吸收辊运输和处理基材

摘要

Continuous wet chemical processing (cleaning, etching, stripping, coating or drying) of flat, thin, fragile substrates comprises transporting and processing the substrates using absorbent rollers.
机译:对平坦,薄且易碎的基材进行连续的湿化学处理(清洁,蚀刻,剥离,涂层或干燥)包括使用吸收辊运输和处理基材。

著录项

  • 公开/公告号DE102005057109A1

    专利类型

  • 公开/公告日2007-05-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 KUNZE-CONCEWITZ HORST;

    申请/专利号DE20051057109

  • 发明设计人 KUNZE-CONCEWITZ HORST;

    申请日2005-11-26

  • 分类号G03F7/26;H01L21;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-21 20:29:35

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