首页> 外国专利> Nonlinear micromechanical resonator

Nonlinear micromechanical resonator

机译:非线性微机械谐振器

摘要

A micromechanical resonator having an actuator configured to provide an excitation, a second component configured to move within a plane at a second frequency in response to the excitation of the actuator, and a first component coupled with the second component such that the movement of the second component at the second frequency induces resonant excitation of the first component that is substantially completely out of the plane.
机译:一种微机械谐振器,该微机械谐振器具有被配置为提供激励的致动器,被配置为响应于该致动器的激励而在第二频率内在平面内移动的第二部件,以及与第二部件耦合的第二部件,使得第二部件的移动。在第二频率处的第一分量引起基本上完全不在平面内的第一分量的共振激励。

著录项

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号