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Wafer level chip scale package (WLCSP) with high reliability against thermal stress

机译:晶圆级芯片级封装(WLCSP)具有高抗热应力能力

摘要

A wafer level chip scale package includes a semiconductor chip having a plurality of pads; a lower insulation layer having a high Young's modulus of 1˜5 GPa formed on the semiconductor chip to expose the plurality of pads; a plurality of metal patterns formed on the lower insulation layer to be connected to the respective pads; an upper insulation layer having a high Young's modulus of 1˜5 GPa formed on the lower insulation layer and the metal patterns to partially expose the metal patterns; and a plurality of solder balls formed on exposed portions of the metal patterns.
机译:晶片级芯片规模封装包括:具有多个焊盘的半导体芯片;以及多个半导体芯片。在半导体芯片上形成具有1〜5GPa的高杨氏模量的下部绝缘层,以暴露多个焊盘。多个金属图案形成在下绝缘层上以连接到各个焊盘。在下部绝缘层和金属图案上形成具有高杨氏模量为1〜5GPa的上部绝缘层,以部分地暴露金属图案;多个焊球形成在金属图案的暴露部分上。

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