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Method of manufacturing a fluid ejection device with a dry-film photo-resist layer

机译:具有干膜光刻胶层的流体喷射装置的制造方法

摘要

Methods of manufacturing a fluid ejection device comprise, in one embodiment, forming filler structures on a substrate and laminating a dry film onto the substrate over the filler structures. The dry film defines a barrier layer around the filler structures and an orifice layer above the filler structures. The filler structures are removed to form voids within the barrier layer.
机译:在一个实施例中,制造流体喷射装置的方法包括:在基板上形成填料结构,以及在填料结构上方将干膜层压到基板上。干膜在填料结构周围限定阻挡层,并在填料结构上方限定孔口层。去除填料结构以在阻挡层内形成空隙。

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