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机译:暴露信息的可互换支持以及用于此类支持的暴露设备
公开/公告号ITTO20070672A1
专利类型
公开/公告日2007-12-26
原文格式PDF
申请/专利权人 IEMMA VINCENZO;
申请/专利号IT2007TO00672
发明设计人 IEMMA VINCENZO;
申请日2007-09-26
分类号
国家 IT
入库时间 2022-08-21 20:05:18
机译: 具有曝光装置的图像形成设备,支撑曝光装置的支撑结构以及用于容纳曝光装置的壳体
机译: 具有投影光学系统中的支撑结构和所述支撑结构的光学调整方式,具有所述支撑结构的曝光装置,曝光方式,2
机译: 光学元件支持方法,光学系统调整方法,曝光设备调整方法,光学元件支持设备,光学系统和曝光设备