公开/公告号WO2008027186A3
专利类型
公开/公告日2008-10-16
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;WANG RONGJUN;CHUNG HUA;TANG XIANMIN;WANG JENN YUE;WANG WEI D.;TANAKA YOICHIRO;YU JICK M.;GOPALRAJA PRABURAM;
申请/专利号WO2007US17967
发明设计人 WANG RONGJUN;CHUNG HUA;TANG XIANMIN;WANG JENN YUE;WANG WEI D.;TANAKA YOICHIRO;YU JICK M.;GOPALRAJA PRABURAM;
申请日2007-08-14
分类号C23C14/34;H01L21/302;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 20:00:45