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A NANOPOSITIONER AND METHOD TO NANO POSITION AN OBJECT THEREOF

机译：纳米定位器及其对物体进行纳米定位的方法

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摘要

The present invention is related to a nanopositioner comprising: heater to expand actuator by heating and peltier module to contract the actuator by cooling to position an object.

机译：纳米定位器技术领域本发明涉及一种纳米定位器，该纳米定位器包括：加热器，其通过加热来使致动器膨胀;珀尔帖模块，其通过冷却以使物体定位而使致动器收缩。

著录项

公开/公告号WO2008050354A2

专利类型
公开/公告日2008-05-02

原文格式PDF
申请/专利权人 ALAM HILAAL;
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申请/专利号WO2007IN00503
发明设计人 ALAM HILAAL;
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申请日2007-10-24
分类号B25J7/00;B81B3/00;H01L35/28;F03G7/06;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 19:59:44

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