公开/公告号EP1572833B1
专利类型
公开/公告日2008-08-20
原文格式PDF
申请/专利权人 ADVANCED TECH MATERIALS;
申请/专利号EP20030779251
申请日2003-10-27
分类号C09K13/00;C09K13/04;C09K13/06;C09K13/08;H01L21/302;C03C15/00;C11D7/08;C11D7/10;C11D7/32;C11D7/50;C11D11/00;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 19:58:41