公开/公告号DE102008007588A1
专利类型
公开/公告日2008-08-21
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申请/专利权人 SENTECH INSTRUMENTS GMBH;
申请/专利号DE20081007588
发明设计人 WOLF RAINER;BESCH WILFRIED;OHL ANDREAS;WANDEL KLAUS;FOEST RUEDIGER;STEFFEN HARTMUT;ARENS MICHAEL;BOEFFEL CHRISTINE;
申请日2008-01-31
分类号H01L21/56;C23C16/455;C23C16/18;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 19:49:06