公开/公告号DE69938921D1
专利类型
公开/公告日2008-07-31
原文格式PDF
申请/专利权人 MICRONIC LASER SYSTEMS AB;
申请/专利号DE19996038921T
发明设计人 SANDSTROEM TORBJOERN;
申请日1999-03-02
分类号G03F7/20;B23K26/06;B23Q17/24;G02B26;G02B26/06;G02B26/08;G03F1;G03F1/08;G03F7/207;H01L21/027;H04N1/195;H04N5/74;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 19:47:23