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NANOINDENTATION SURFACE ANALYSIS METHOD

机译:纳米识别表面分析方法

摘要

The present invention provides a novel method for determining the mechanical properties of the surfaces of materials including thin films. Generally, the method is comprised of laterally scanning the surface of the film with an array of cantilever tips varying temperature, load and time to obtain a measurement of mechanical properties, such as hardness and glass transition temperature. The method can be used to obtain mechanical properties of films that would otherwise be unobtainable using standard methods.
机译:本发明提供了一种用于确定包括薄膜的材料的表面的机械性能的新颖方法。通常,该方法包括用变化温度,载荷和时间的悬臂尖端阵列横向扫描膜的表面以获得机械性能的测量值,例如硬度和玻璃化转变温度。该方法可以用于获得膜的机械性能,否则使用标准方法将无法获得该膜的机械性能。

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