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MEMS tunable vertical-cavity semiconductor optical amplifier

机译:MEMS可调垂直腔半导体光放大器

摘要

A MEMS-tunable semiconductor optical amplifier (SOA). A device in accordance with the present invention comprises a substrate, a first mirror, coupled to the substrate, a second mirror, an active region, coupled between the first and second mirror, and a microelectromechanical actuator, coupled to the second mirror, wherein a voltage is applied to the microelectromechanical actuator to tune the SOA.
机译:MEMS可调半导体光放大器(SOA)。根据本发明的装置包括衬底,耦合到衬底的第一镜,第二镜,耦合在第一和第二镜之间的有源区以及耦合到第二镜的微机电致动器,其中将电压施加到微机电致动器以调整SOA。

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