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Film forming composition, process for producing film forming composition, insulating film forming material, process for forming film, and silica-based film
Film forming composition, process for producing film forming composition, insulating film forming material, process for forming film, and silica-based film
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机译：膜形成用组合物，膜形成用组合物的制造方法，绝缘膜形成用材料，膜形成方法以及二氧化硅系膜
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A process for producing a film forming composition, the process including hydrolyzing and condensing: (A) at least one silane compound selected from a compound (A-1) shown by the following general formula (1), a compound (A-2) shown by the following general formula (2), and a compound (A-3) shown by the following general formula (3),RaSi(OR1)4-a (1)Si(OR2)4 (2)R3b(R4O)3-bSi—(R7)d—Si(OR5)3-cR6c (3); and;(B) a cyclic silane compound shown by the following general formula (4):; 展开▼
机译：制膜用组合物的制造方法，其包括水解和缩合：（A）选自下述通式（1）所示的化合物（A-1），化合物（A-2）中的至少一种硅烷化合物。下述通式（2）所示的化合物和下述通式（3）所示的化合物（A-3），<？in-line-formulae description =“在线公式” end =“ lead”？> R a Si（OR 1 ） 4-a < / Sub>（1）<？in-line-formulae description =“行内公式” end =“ tail”？> <？in-line-formulae description =“行内公式” end =“ lead”？> Si（OR 2 ） 4 （2）<？行内公式description =“行内公式” end =“ tail”？> <？行内-formulae description =“ In-line Formulae” end =“ lead”？> R 3 b （R 4 O） 3 -b Si-（R 7 ） d -Si（OR 5 ） 3-c R 6 c （3）; （B）以下通式（4）所示的环状硅烷化合物：（B）由下述通式（4）表示的环状硅烷化合物： 展开▼
