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机译：schiefspiegliges正常发病率-光源，特别是euv的kollektorsystem -plasmentladungsquellen
公开/公告号AT445900T
专利类型
公开/公告日2009-10-15
原文格式PDF
申请/专利权人 CARL ZEISS SMT AG;
申请/专利号AT20030747934T
发明设计人 SINGER WOLFGANG;
申请日2003-08-27
分类号G11C11/22;G03F7/20;
国家 AT
入库时间 2022-08-21 19:24:15
机译： schiefspiegliges正常发病率-光源（特别是euv）的kollektorsystem -plasmentladungsquellen
机译： 倾斜镜面法向入射收集器系统，用于光源，尤其是EUV等离子体放电源
机译： 光源（特别是EUV等离子体放电源）的倾斜镜型正入射收集器系统
