公开/公告号WO2008140845A1
专利类型
公开/公告日2008-11-20
原文格式PDF
申请/专利权人 THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA;MAJUMDAR ARUNAVA;SEGALMAN RACHEL A.;REDDY PRAMOD;JANG SUNG-YEON;
申请/专利号WO2008US54154
申请日2008-02-15
分类号H01L39/12;C23C14/30;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 19:21:21