公开/公告号EP1366512A4
专利类型
公开/公告日2009-07-08
原文格式PDF
申请/专利号EP20010987440
发明设计人 WALKER GEORGE F.;GOLDBLATT RONALD D.;GRUBER PETER A.;HORTON RAYMOND R.;PETRARCA KEVIN S.;VOLANT RICHARD P.;CHENG TIEN-JEN;
申请日2001-12-19
分类号H01L21/44;H01L23/48;H01L21/60;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 19:19:03