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OPTO-ELECTRONIC AND ELECTRONIC DEVICES USING N-FACE OR M-PLANE GAN SUBSTRATE PREPARED WITH AMMONOTHERMAL GROWTH

机译:使用N-Face或M-平面GAN底物制备的具有光热生长的光电器件

摘要

A method for growing III-V nitride films having an N-face or M-plane using an ammonothermal growth technique. The method comprises using an autoclave, heating the autoclave, and introducing ammonia into the autoclave to produce smooth N-face or M-plane Gallium Nitride films and bulk GaN.
机译:一种使用氨热生长技术生长具有N面或M面的III-V氮化物膜的方法。该方法包括使用高压釜,加热高压釜,并将氨引入高压釜中以产生光滑的N面或M面氮化镓膜和块状GaN。

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